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SEMI集结产官学研 加速下世代检测计量技术发展
 

【CTIMES/SmartAuto 报导】   2019年11月06日 星期三

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由工业技术研究院量测技术发展中心与SEMI国际半导体产业协会推动成立的「SEMI检测与计量委员会」,日前选出正??主席,由致茂电子股份有限公司黄钦明董事长担任主席,??主席则由国家实验研究院台湾仪器科技研究中心陈峰志??主任、汉民科技股份有限公司蔡文豪处长、工业技术研究院量测技术发展中心林增耀执行长等3人担任。

根据资料统计,半导体检测市场将从2019年的33.6亿美元成长到2024年的53亿美元。随着电子装置微小化,生产精密装置需要更先进的检测设备,维持高良率、高产量变得比以往更困难,因此计量技术自动化、虚拟量测技术、数位双胞胎、智慧工厂…等相关应用,都将成为下世代检测与计量技术发展的关键因子。

在先进制程持续向个位数节点微缩,同时朝异质整合方向发展的趋势下,检测与计量技术不仅可帮助业者更精准且即时地找出原物料瑕疵或制程中的不良品,减少影响半导体制造良率的因素;同时,检测与计量技术所取得的数据资料,更是半导体制造业者落实智慧制造的关键。

「SEMI检测与计量委员会」集结国内外产学研机构,以建立半导体检测与计量技术之全球性合作平台为宗旨,链结上、中、下游产业供应商,讨论交流关键检测技术。今年9月在SEMICON Taiwan国际半导体展期间所举办的,「半导体先进检测与计量国际论坛」,便邀集包括科磊(KLA)、国研院台湾仪科中心、液空集团(Air Liquide)、应用材料(Applied Materials)、台湾??场(HORIBA)、均豪精密及量测技术发展中心等专家,共同探讨半导体检测与计量之市场趋势、产业标准、设备发展,以及各种技术应用,包括奈米计量应用、重布线路层检测与计量技术、椭偏仪法的应用、非分散性红外线应用、皮秒成像电路分析技术、针对极紫外线随机缺陷的扫描式电子显微镜应用、先进与专门材料品质控制的需求及挑战…等,希冀对先进制程的检测与计量技术发展带来助益。

委员会将在新任正??主席的带领下,持续关注检测与计量领域产业发展的挑战与机会,畅通跨界沟通桥梁,致力於解决单一业者难以突破的产业问题,加速相关技术的突破与发展。

關鍵字: SEMI 
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