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KLA-Tencor推出全新FlashScanTM产品线
针对光学和EUV空白光罩应用

【CTIMES/SmartAuto 报导】   2017年08月18日 星期五

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KLA-Tencor公司宣布推出全新的FlashScanTM空白光罩检测产品线,自从1978年公司推出第一台检测系统以来,KLA-Tencor一直是图案光罩检测的主要供应商,新的FlashScan产品线宣告公司进入专用空白光罩的检验市场。 光罩??件制造商需要针对空白光罩的检测系统,用於制程开发和批量生产过程中的缺陷检测,此外,光罩制造商(“掩模厂”)为了进行光罩原料检测,设备监控和进程控制也需要购买该检测系统。 FlashScan系统可以检查针对光学或极紫外(EUV)微影的空白光罩。

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“先进的微影技术从表徵良好的空白光罩开始。”KLA-Tencor的光罩和宽带等离子晶圆检测部总经理熊亚霖博士指出,“无缺陷的EUV光罩??件极难制造,这不仅推高了生产成本,也推延了EUV光刻可能带给下一代晶片制造的惠益。 我们全新的FlashScan空白光罩检测仪可以在裸基板,吸收膜和光阻涂层上捕获各种类型的缺陷。 此外,对比目前市场上的其他系统, FlashScan系统具有更高的产量和灵敏度,这将缩短空白光罩制造商和掩模厂的学习周期时间。”

利用KLA-Tencor晶圆缺陷检测系统的激光散射技术,FlashScan系统可以满足目前所有正在开发和生产的光学与EUV空白光罩对於灵敏度和检测速度要求。采用光罩检测市场独特的三通道数据采集系统,该系统可以对各种类型的光罩??件的缺陷进行检测,尺寸测量和区分,例如在空白光罩制造或运输期间可能出现在光阻上的针孔和掉落颗粒。

领先的掩模厂对高灵敏度、高产量和全类型的缺陷检测系统显示了浓厚的兴趣,这证明了市场对该产品的需求。为了保证空白和图案光罩制造商所需的优异性能和产量,FlashScan系统由KLA-Tencor全球综合服务网络 提供技术支持。有关新FlashScan产品系列的更多信息(包括当前型号的说明)请查阅FlashScan的网页。

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