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盛美半導體推出功率元件立式爐設備 提升IGBT製程合金退火性能 (2020.12.24) 隨著電晶體變薄、變小和速度變快,合金退火功能對滿足絕緣柵雙極型電晶體(IGBT)元件不斷增長的生產要求至關重要。因此,半導體製造與晶圓級封裝設備供應商盛美半導體近日宣佈,其開發的Ultra Fn立式爐設備擴展了合金退火功能,將立式爐平台應用拓展到功率元件製造領域 |
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盛美半導體滿足先進封裝技術要求 打造濕法製程設備產品 (2020.10.20) 盛美半導體設備(ACM Research,Inc.)宣布為先進封裝客戶打造廣泛的濕法製程設備產品系列,滿足未來的先進技術要求。盛美的成套定制、高端濕法晶圓製程設備,可支援實現銅(Cu)柱和金(Au)凸塊等先進晶圓級封裝製程,以及矽通孔(TSV)、扇出(Fan-out)及小晶片等製程 |
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盛美半導體推出大功率元件製造的薄片清洗設備 零接觸製造優化良率 (2020.09.23) 半導體製造與先進晶圓級封裝設備供應商盛美半導體設備近日推出了新款薄型晶圓清洗系統,這是一款高產能的四腔系統,可應用於單晶圓濕法製程,包括清洗、蝕刻、去膠和表面濕法減薄 |
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盛美半導體推出先進儲存器應用的18腔單晶圓清洗設備 (2020.07.09) 新型Ultra C VI系統充分利用盛美已被驗證的多腔體技術,為儲存器製造商提高產能並降低成本。
先進半導體設備供應商盛美半導體設備近日發布Ultra C VI單晶圓清洗設備,此為Ultra C清洗系列的新品 |
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盛美半導體推出Ultra Furnace立式爐設備 進軍乾法製程市場 (2020.05.18) 晶圓清洗設備供應商盛美半導體設備今天發佈了立式爐設備(Ultra Furnace),此為多種乾法製程應用開發的系統。該立式爐設備優化後可實現高性能的低壓化學氣相沉積(LPCVD)應用,同時該設備平台還可延伸至氧化和退火,以及原子層沉積(ALD)等應用 |