账号:
密码:
CTIMES/SmartAuto / 新闻 /
用「??」金属实现2奈米制程
 

【CTIMES/SmartAuto 籃貫銘 报导】   2020年10月11日 星期日

浏览人次:【3585】
  

Imec展示可实现2奈米制程的先进互连方案的替代金属技术

透过一个12层金属分析,证实了这个半镶嵌技术可带来系统级的优势

在2020年国际互连技术大会上,imec首次展示了采用??金属(Ru),具备电气功能的双金属层级结构(2-metal-level)互连技术。该金属是使用特殊的半镶嵌和气沟(Air Gap)技术生产,具有更好的使用寿命和更隹的物理强度(mechanical strength)。

透过一个12层金属分析,证实了这个半镶嵌技术可带来系统级的优势,包含降低阻容(resistance-capacitance,RC)、功耗和IR-Drop。此外,??金属也展现了绝隹的潜力,可??作为先进制程的中段(MOL)接触??塞(contact plugs)的替代方案。

目前,替代性的金属化材料(例如??)和替代性的金属化制程(例如半镶嵌),正被密集的研究中,以前进2奈米或者以下制程技术的前段(BEOL)和中段(MOL)互联。

在前段设计中,imec提出了一种半镶嵌(semi-damascene)整合技术,作为传统的双重镶嵌(dual-damascene)的替代方案。为了能够完全的发挥这种结构技术的潜力,需要有除了铜(Cu)或钴(Co)以外的其他金属,它们可以被沉积而无扩散阻挡层,且具有高的体电阻率,并可以被图模式的使用,例如:减成蚀刻。

这个结构也可以增加互连的高度,并结合气隙作为电介质,将有??减少阻容(RC)延迟,这是後段制程的主要瓶颈。

Imec首次使用「??」进行金属化,并在300mm晶圆上制造并特性化了双金属层的半镶嵌模组。在30奈米金属间距线的测试结构显示,有超过80%以上的可重复性(无短路迹象),且使用寿命超过10年。同时??的气隙结构的物理稳定性可与传统的铜双重镶嵌结构相比。

Imec奈米互连专案总监Zsolt Tokei表示,结果显示,半镶嵌与气隙技术相结合不仅在频率和面积上优於双镶嵌,而且为进一步的性能强化提供了可扩展的途径。气隙技术则显示出将性能提高10%,同时将功耗降低5%以上的潜力。使用高深横比的电线,可将电源线路中的IR下降减少10%,进而提高可靠度。 在不久的将来,为半镶嵌模组开发的光罩组(Mask set)将能够进一步改善半镶嵌的整合,并通过实验验证去达成预期的性能改进。

Imec还展示了在先进MOL接触??塞中,使用「??」替代钴或钨的优势。imec CMOS元件技术总监Naoto Horiguchi指出,无阻绝层的??,有潜力进一步减小因缩小接触面积而产生的接触电阻。

在一项评测研究中,imec评估了??和钴,结果表明??是替代MOL狭窄沟槽中的钴,最有希??的候选方案。在0.3奈米氮化??(TiN)内衬(无阻挡层)的孔洞,填充??的电阻的性能,优於在相当的制程中填充钴(有1.5奈米氮化??阻挡层)。研究还证明,??作为源极和汲极接触材料,在p-矽诌(SiGe)和n-矽(Si)上的接触电阻率都较低,约为10-9Ωcm-2。

關鍵字:   imec 
相关新闻
爱美科全新先进射频计画 探索高能源效率的6G元件技术
具备人工虹膜的智慧隐形眼镜 有??改变眼疾治疗的方式
Imec展示低功耗毫米波雷达晶片 能在电池供电设备运行
AI晶片重大突破 爱美科与格罗方德实现边缘设备的深度神经网路运算
Imec扩大矽光子学产品组合 推动下一代资料中心互连
comments powered by Disqus
相关讨论
  相关新品
Arduino Motor Shield
原厂/品牌:RS
供应商:RS
產品類別:
mbed
原厂/品牌:RS
供应商:RS
產品類別:
Arduino
原厂/品牌:RS
供应商:RS
產品類別:
  相关产品
» 甲骨文扩增多项云端基础设施Always Free永久免费服务
» Power Integrations 将无损过零检测和电容器放电功能加入LinkSwitch-TNZ 离线切换器 IC
» SP广颖电通推出可携式游戏机存储游戏专用的microSDXC记忆卡
» 瑞萨推出增强型室外空气品质感测器平台
» 贸泽与ST携手打造全新技术资源网站 提供交通应用解决方案
  相关文章
» 碳化矽基板及磊晶成长领域 环球晶布局掌握关键技术
» 突破行动OLED显示器量产瓶颈
» 产业计画测试新5G行动技术Six Nines功能
» 运用单对乙太网路於影片监视设施应用
» 汽车动力总成的功能与网路安全三大考量
  相关资源
» Power Management Solutions for Altera FPGAs

AD


刊登廣告 新聞信箱 读者信箱 著作權聲明 隱私權聲明 本站介紹

Copyright ©1999-2021 远播信息股份有限公司版权所有 Powered by O3
地址:台北市中山北路三段29号11楼 / 电话 (02)2585-5526 / E-Mail: webmaster@ctimes.com.tw