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安立知:220 GHz向量網路分析儀讓高頻晶圓測試一步到位
 

【CTIMES/SmartAuto 王岫晨 報導】   2021年06月21日 星期一

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晶圓測試都是在晶圓上透過自動化探針台自動去尋找晶圓上的目標,自動點擊以進行量測,因此除了高頻率的VNA之外,對探針與探針台的要求也非常高。晶圓測試大廠安立知(Anritsu)推出了新款VNA,可以一路從70KHz掃頻到200GHz,克服傳統操作必須分頻段架設儀器來滿足測量200G特性的問題。而安立知的模組將測試頻率延伸到220GHz,穩定度也能比傳統校正後維持更長的時間,這對於晶圓測試將更有幫助。

安立知推出220GHz向量網路分析儀
左:Anritsu 安立知業務暨技術支援部 經理 林光韋
右:Anritsu 安立知業務暨技術支援部 專案副理 程昭團
安立知推出220GHz向量網路分析儀

Anritsu安立知業務暨技術支援部專案副理程昭團指出,VectorStar ME7838G 寬頻向量網絡分析儀(VNA),是業界首款能夠在單次掃描實現70 kHz至220 GHz量測的VNA。其頻率覆蓋範圍,能讓工程師在更廣泛的頻率範圍內更精準及有效地分析設備特性,進而提供準確的設備模型,實現精準模擬優化,縮短設計時間。

VectorStar VNA系統整合了 Anritsu 安立知非線性傳輸線 (NLTL) 毫米波 (mmWave) 模組,可實現業界最廣的單次掃描寬頻覆蓋以改進設備模組。220GHz 探針可直接連接毫米波模組,實現精準、穩定的晶圓上量測,進一步避免了同軸連接器在次兆赫頻率下的限制。

支援 220GHz 的 ME7838G 具備安立知的VectorStar寬頻平台能力,超越單次掃描的傳統界限,無需將晶圓探針台從 110 GHz 改造為更高的波導頻段。藉由此一先進設計,工程師可在同一片晶圓上測量各種電路,無需從同軸微波 VNA 轉移至同軸毫米波 VNA 或波導毫米波 VNA。同時,由於無需進行波導連接,該系統可減少晶圓的量測時間,提高寬頻設備的量測精度,並可減少 VNA 重新配置的次數以提升晶圓探針台的成本效益。

ME7838G 滿足了在高頻毫米波進行晶圓上量測的市場需求,實現更精確的分析設備特性。基於 VectorStar 的寬頻系統可從近 DC 至遠超出工作頻率的設備進行準確的特性分析,使工程師對其設計的系統更有信心,進而實現更精確的模組。

而在安立知推出測試頻率達到220GHz的VNA儀器之後,高頻測試的關鍵將回到探針與探針台身上。也就是高頻網路分析儀與探針台搭配時,必須能夠維持穩定度與更有效的校正方法。而更新一代的高頻網路分析儀,也勢必將衝擊晶圓廠,使其晶圓製程隨之更為精進。

關鍵字: VNA  5G  mmWave  安立知(Anritsu
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